Các chức năng của micromachining chủ yếu bao gồm các khía cạnh sau:
Gia công độ chính xác cao: Công nghệ micromachining có thể đạt được độ chính xác gia công của Subicron hoặc thậm chí Nanomet, cho phép nó sản xuất các bộ phận và cấu trúc rất tốt .
Một loạt các ứng dụng: Công nghệ micromachining được sử dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực, bao gồm các bộ phận y tế, các thành phần điện tử, bộ lọc hạt, v.v.
Khả năng thích ứng vật liệu: có thể áp dụng micromachining cho nhiều loại vật liệu, bao gồm polyme, kim loại, hợp kim và các vật liệu cứng khác . Điều này làm cho nó rất linh hoạt trong các ứng dụng công nghiệp khác nhau .}
Nhanh chóng từ ý tưởng sang nguyên mẫu: Công nghệ micromachining có thể nhanh chóng biến đổi các thiết kế thành các sản phẩm thực tế, đặc biệt phù hợp để tạo mẫu và phát triển sản phẩm nhanh chóng .
Sản xuất các cấu trúc phức tạp: Công nghệ micromachining có thể sản xuất các bộ phận vi mô với hình học phức tạp, điều này rất quan trọng đối với các ứng dụng đòi hỏi các thiết kế rất chính xác và phức tạp .
Xử lý không có nhiệt: Hệ thống micromachining laser femtosecond thực hiện xử lý vật liệu không có nhiệt thông qua hiệu ứng hấp thụ phi tuyến, đặc biệt phù hợp để xử lý lỗ vi mô tỷ lệ khung hình cao của vật liệu giòn và vật liệu siêu lớn .