Các đặc điểm cấu trúc của micromachining chủ yếu bao gồm các khía cạnh sau:
Kích thước nhỏ: Một trong những đặc điểm chính của micromachining là việc xử lý các cấu trúc micron/nano, làm cho kích thước của các bộ phận gia công rất nhỏ . Ví dụ, kích thước của các bộ phận vi mô thường nằm trong khoảng 0 . 01 và 10 mm.
Độ chính xác cao: Vì micromachining liên quan đến các kích thước rất nhỏ, các yêu cầu về độ chính xác gia công là rất cao . như ma sát và biến dạng nhiệt ở microscale yêu cầu kiểm soát độ chính xác cao để đảm bảo độ chính xác và độ ổn định của các bộ phận .}
Sự đa dạng: Công nghệ micromachining có thể được áp dụng cho nhiều loại vật liệu, bao gồm silicon, polyme, kim loại, gốm sứ, v.v.
Tính linh hoạt: Công nghệ micromachining rất linh hoạt và phù hợp để sản xuất các thành phần vi mô với các hình dạng phức tạp . Nó có thể được sử dụng không chỉ để sản xuất các hình dạng hình học đơn giản, mà còn để sản xuất các cấu trúc 3D phức tạp .
Sản xuất hàng loạt: micromachining thường là đúc hàng loạt, phù hợp để sản xuất quy mô lớn . Phương pháp sản xuất này có thể cải thiện hiệu quả và giảm chi phí, và phù hợp cho các bộ phận nhỏ cần được sản xuất hàng loạt.